Vacuum Components ICF standards　Product List Vacuum Component 

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Flange

• NW/KF
  • 10
  • 16
  • 25
  • 25 - 40
  • 40
  • 50

• ICF
  • 34
  • 54
  • 54 (foreign)
  • 70
  • 70 (wide)
  • 86
  • 114
  • 117
  • 152
  • 203
  • 253
  • 305
  • 356
  • 406
  • 70 / 34
  • 114 / 86
  • 152 / 70
  • 152 / 203
  • 253 / 114
  • 114~203

• VF
  • 10
  • 10 - 25
  • 20
  • 20 - 25
  • 25
  • 40
  • 40 - 50
  • 50
  • 65
  • 80
  • 80 - 150
  • 125
  • 100
  • 150
  • 200
  • 200 - 300
  • 250
  • 300
  • 350
  • 400 - 450
  • 500 - 550

• VG
  • 10
  • 10 - 25
  • 20
  • 20 - 25
  • 25
  • 40
  • 40 - 50
  • 50
  • 65
  • 80
  • 80 - 150
  • 100
  • 125
  • 150
  • 200
  • 200 - 300
  • 250
  • 300
  • 350
  • 400 - 450
  • 500 - 550

• ISO-K
  • 63
  • 80
  • 100
  • 160
  • 200
  • 250
  • 320
  • 400

• ISO-F
  • 63
  • 80
  • 100
  • 160
  • 200
  • 250
  • 63 - 100
  • 160 - 250
  • 320-400

JIS10K

• 15A

• 20A

• 25A

• 32A

• 40A

• 50A

Tube / Fitting Size

• 1/16 inch

• 1/8 inch

• 1/4 inch

• 3/8 inch

• 1/2 inch

• 3/4 inch

• 1 inch

• 2 mm

• 3 mm

• 4 mm

• 5 mm

• 6 mm

• 8 mm

• 10 mm

• 12 mm

• 15 mm

• 18 mm

Joint standard

• Swagelok®

• Tube end

• VCR® F

• VCR® M

• ICF

• VCR®

• NW/KF

• V®-Lok

• UJR®female

• UJR®male

• Taper screw F

• Taper screw M

Base flange / Port flange

• ICF70 / ICF34

• ICF114 / ICF34

• ICF152 / ICF34

• ICF203 / ICF34

• ICF70 / NW16

• ICF70 / TA1/4

• ICF70 / SW1/4

• ICF70 / FVCR1/4

• ICF70 / MVCR1/4

L

• 12

• 15

• 16

• 18

• 20

• 22

• 25

• 30

• 35

• 40

• 45

• 50

• 55

• 58

• 60

• 65

• 68

• 70

• 222

• 250

• 500

• 750

• 1000

• 1500

• 2000

• 2500

• 3000

Classification

• Manual

• Pneumatic (single-acting)

• Pneumatic (double-acting)

• motor

Connection diameter (φ)

• 1/4 inch

• 3/8 inch

• 1/2 inch

• 3/4 inch

• 1/1 inch

• 2 mm

• 1-1/4inch

• 1-1/2inch

• 2inch

• 1/8 inch

• 3 mm

• 4 mm

• 5 mm

• 6 mm

• 8 mm

• 10 mm

• 12 mm

• 15 mm

• 18 mm

The number of ports

• 1

• 2

• 3

• 4

• 5

• 6

• 7

• 8

Screw call

• M4

• M5

• M6

• M8

• M10

• M12

• M16

The number of tube

• 1

• 2

Fixed/Rotatable

• blank

• pierced

Fixed/rotating

• rotation

• fix

Seal / gasket material

• Oxygen-free copper

• Oxygen-free copper + annealed

• Oxygen-free copper + gold-plat

• Oxygen-free copper + silver-pl

• nickel

• Aluminum A1050

• Viton ®

Flange material

• SUS 304

• SUS 316L

• SUS316LN

• Titanium

window

• sapphire

• Flint glass only

• Borosilicate glass

• Borosilicate glass + lead glas

• Tempered glass

• Synthetic quartz

• Calcium fluoride

• Magnesium fluoride

• germanium

• SUS（Blank

Bonnet seal

• Viton ®

• oxygen-free copper

Tubes / Pipes

• SUS 304

The lowest temperature

• -100℃

Maximum temperature

• 200℃

Processing method

• Nothing

• Silver-coated

Corresponding laser

• UV

• DUV

• EUV (excimer)

• AR coated:365～780nm

shape

• 45°

• 90°

• standard

• nipple type

• L type

• Y type

• Z type

purpose

• base plate

• gauge port

DN（内径）

• 40

• 50

• 100

Thru or Tap

• Through

• tapped

Bolt type

• cap bolt

• Hexagon Head Bolts

stroke

• 25 ｍｍ

• 22 mm

• 40 ｍｍ

• 50 mm

• 70 ｍｍ

• 80 ｍｍ

• 100 ｍｍ

• 200 mm

• 300mm

• 400mm

• 500 mm

• 700 mm

operation

• Straight line only

• Rotation only

• Straight line, rotation

way

• bellows

• magnet