Vacuum Components NW / KF standard　Product List Vacuum Component 

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Flange

• NW/KF
  • 10
  • 16
  • 20
  • 25
  • 25 - 40
  • 32
  • 40
  • 50
  • 63
  • 80
  • 100
  • 125
  • 160
  • 200
  • 250

• ICF
  • 34
  • 54
  • 54 (foreign)
  • 70
  • 86
  • 114
  • 152
  • 203
  • 253
  • 305
  • 356

• VF
  • 10
  • 20
  • 25
  • 40
  • 50
  • 65
  • 80
  • 125
  • 100
  • 150
  • 200
  • 250
  • 300

• VG
  • 10
  • 20
  • 25
  • 40
  • 50
  • 65
  • 80
  • 100
  • 125
  • 150
  • 200
  • 250
  • 300

• ISO-K
  • 63
  • 80
  • 100
  • 160
  • 200
  • 250
  • 320
  • 400

• ISO-F
  • 63
  • 80
  • 100
  • 160
  • 200
  • 250

• sanitary
  • 1.5S
  • 1S
  • 2S
  • 2.5S

JIS10K

• 15A

• 20A

• 25A

• 32A

• 40A

• 50A

Tube / Fitting Size

• 1/16 inch

• 1/8 inch

• 1/4 inch

• 3/8 inch

• 1/2 inch

• 3/4 inch

• 1 inch

• 2 mm

• 3 mm

• 4 mm

• 5 mm

• 6 mm

• 8 mm

• 10 mm

• 12 mm

• 15 mm

• 18 mm

Joint standard

• Swagelok®

• Tube end

• VCR® F

• VCR® M

• VCR®

• V®-Lok

• UJR®female

• UJR®male

• VCO®female

• VCO®male

• Taper screw F

• Taper screw M

• Parallel screws F

• Parallel screws M

• NPT Female

• NPT Male

L

• 10

• 20

• 40

• 50

• 55

• 60

• 70

• 80

• 85

• 100

• 250

• 500

• 750

• 1000

• 1500

• 2000

• 2500

• 3000

• 5000

• 10000

Connection type

• RH18/PVC19

• RH25/PVC25

• RH38/PVC38

Classification

• Manual

• Pneumatic (single-acting)

• Pneumatic (double-acting)

• in general

• one touch

• motor

Connection diameter (φ)

• 1/4 inch

• 3/8 inch

• 1/2 inch

• 3/4 inch

• 1/1 inch

• 2 mm

• 1-1/4inch

• 1-1/2inch

• 2inch

• 1/8 inch

• 3 mm

• 4 mm

• 5 mm

• 6 mm

• 8 mm

• 10 mm

• 12 mm

• 15 mm

• 18 mm

The number of tube

• 1

• 2

The outer ring

• SUS 304

• Aluminum

The inner ring

• SUS 304

• Aluminum

Seal / gasket material

• Viton ®

• Kalrez ®4079

• Nitrile

Mesh size

• #10 (Wire diameter: 0.5, Clear

• #8 (Wire diameter: 0.6, Cleara

• #50 (Wire diameter: 0.18, Clea

• #100(Wire diameter:0.1, Cleara

• #150 (Wire diameter:0.06, Clea

Flange material

• SUS 304

• SUS 316L

• Aluminum（A5052)

• SUS316LN

• aluminum (Al)

• acrylic

• Duran® (borosilicate glass)

• Titanium

• Quartz

Flexible / bellows

• SUS 316L

• Hastelloy C22

window

• sapphire

• Borosilicate glass

• Synthetic quartz

• Magnesium fluoride

• Fused quartz

• Zinc selenide

Finish

• Optical

Bonnet seal

• Viton ®

• oxygen-free copper

The inner surface processing

• GBB Processing

The lowest temperature

• -100℃

• -50℃

• -20℃

• -10℃

Maximum temperature

• 100℃

• 150℃

• 200℃

• 315℃

Corresponding laser

• UV

• DUV

• EUV (excimer)

• AR coated:365～780nm

A (O.D)

• 33

• 48

• 26

• 18

• 21

• 24

• 30

• 36

• 42

• 50

• 60

• 75

• 100

B (I.D)

• 19

• 25

• 6

• 7.5

• 9

• 12

• 15

• 18

• 32

• 38

• 50

shape

• 45°

• 90°

• standard

• nipple type

• L type

• Y type

• Z type

purpose

• base plate

• gauge port

DN（内径）

• 22

• 33

• 40

• 47.5

• 50

• 100

Inner diameter

• 1/4inch

• 3/8inch

• 1/2inch

• 3/4inch

• 1/1inch

• 1-1/2inch

• 2 inch

end

• Double-Ended Tubes

• One side tube

• bilateral fitting

Body & Mesh

• SUS 304

• SUS 316L

stroke

• 25 ｍｍ

• 22 mm

• 40 ｍｍ

• 50 mm

• 70 ｍｍ

• 80 ｍｍ

• 100 ｍｍ

• 200 mm

• 300mm

• 400mm

• 500 mm

• 700 mm

operation

• Straight line only

• Rotation only

• Straight line, rotation

way

• bellows

• magnet