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Angle valve for pneumatic soft exhaust　Product List Vacuum Component

Subcategory 1Matter (1 ~1 )

Leak rate	<1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec
Available pressure	10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa
- In opening direction	≤ 0.2 MPa
- in closing direction	≤ 0.5 Mpa
Differential pressure at opening	≤ 0.1 Mpa
Cycles until first service	2,000,000 (unheated and under
使用可能温度（ボディ）	150 ℃
使用可能温度（アクチュエーター）	120 ℃
使用可能温度（ポジションインディケーター）	70 ℃
body	SUS 316
プレート	SUS 316
ベローズ	SUS 316
Bonnet seal	FKM(Viton®)
ポジションインディケーター（接点	10 - 28V/DC, 1 - 50 mA

2 type candidate

Angle valve for pneumatic soft exhaust NW40

Product code :60246
Model:NW40PASFV

Leak rate	<1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec
Available pressure	10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa
- In opening direction	≤ 0.2 MPa
- in closing direction	≤ 0.5 Mpa
Differential pressure at opening	≤ 0.1 Mpa
Cycles until first service	2,000,000 (unheated and under
使用可能温度（ボディ）	150 ℃
使用可能温度（アクチュエーター）	120 ℃
使用可能温度（ポジションインディケーター）	70 ℃
body	SUS 316
プレート	SUS 316
ベローズ	SUS 316
Bonnet seal	FKM(Viton®)
ポジションインディケーター（接点	10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
NW/KF	40

Angle valve for pneumatic soft exhaust NW50

Product code :60237
Model:NW50PASFV

Leak rate	<1x10<sup>-7</sup>Pa･ℓ/sec
Available pressure	10<sup>-6</sup> Pa ～0.5Mpa
- In opening direction	≤ 0.2 MPa
- in closing direction	≤ 0.5 Mpa
Differential pressure at opening	≤ 0.1 Mpa
Cycles until first service	2,000,000 (unheated and under
使用可能温度（ボディ）	150 ℃
使用可能温度（アクチュエーター）	120 ℃
使用可能温度（ポジションインディケーター）	70 ℃
body	SUS 316
プレート	SUS 316
ベローズ	SUS 316
Bonnet seal	FKM(Viton®)
ポジションインディケーター（接点	10 - 28V/DC, 1 - 50 mA
NW/KF	50

Flange

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