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ステンレス鋼とは、真空用材料として広く使用されている。
特にオーステナイト系のSUS304は放出ガスが少なく加工性が高いためよく使用されている。
非磁性対応の場合SUS316Lなども多く使用されている。
また欧州ではSUS316 LNといった材質なども使用されている。