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アウトガス(放出ガス)

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アウトガスとは、真空チャンバー内部で真空チャンバーや部品などから放出 される気体のこと。
真空チャンバー内で使用する場合は必ずアウトガスのないもの又は少ないものを選定する必要がある。
材料によりその成分が大きく違うがステンレス鋼の場合、内部に二酸化炭素などが溜まっていることがある。
また表面には主に水分が吸着していることが多いが、ベーキングといってチャンバー内を数時間、高温状態にさらすことでアウトガスを減らす事ができる。

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