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樹脂製品のベーキングによるアウトガス量変化 調査レポート

樹脂製品のベーキングによるアウトガス量変化 調査レポート

2026/03/07
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樹脂製品のベーキングによるアウトガス量変化調査レポート

樹脂製品のベーキングによるアウトガス量変化 調査レポート

150℃×72時間ベーキング処理前後のアウトガスレート比較

1. 背景・目的

お客様より「当社の樹脂製品をベーキングした場合、アウトガス量がどのように変化するのか」というご質問をいただきました。 そこで、社内の主要な樹脂製品を用いてベーキング処理を実施し、処理前後のアウトガス量の変化を調査いたしました。

2. 試験対象

今回の調査では、セラミック、カプトン、ポリイミド、PEEK、テフロン、PTFEといった代表的な被覆材質を持つ8種類のサンプルを対象としました。

表1 サンプル仕様
サンプル番号 サンプル名 型式 被覆主な材質
① セラミックインサート VSAI22GA セラミック
② カプトンチューブ熱電対 VK6K1000/XX カプトン
③ ポリイミド被覆 素線 先端溶接 VK3K1000/XXA ポリイミド
④ ツイストケーブル熱電対 ― ポリイミド
⑤ カプトン被覆ケーブル ― カプトン
⑥ PEEKインサート VSPI22GA PEEK
⑦ テフロン被覆熱電対 ― テフロン
⑧ PTFEインサート ― PTFE

3. 試験条件

・ベーキング条件

測定装置を 150℃で72時間 保持するベーキング処理を行いました。

・計測時間

ベーク前後の 12時間 を目安に RGA波形と各チャンバーの圧力を計測し、室温付近でのアウトガスレートを求めました。

4. 測定結果

以下の表に、ベーク前後それぞれ計測開始から12時間後の測定結果をまとめます。 Q は試料室からのアウトガス、QS は試験対象のアウトガスを示します。

表2 ベーク前後計測開始からそれぞれ12時間後の測定結果まとめ
No. サンプル名 ベーク前 ベーク後 QS 低減率
試料室 Q
[Pa·m³/s]		 試験対象 QS
[Pa·m³/s]		 試料室 Q
[Pa·m³/s]		 試験対象 QS
[Pa·m³/s]
① セラミックインサート 4.4×10-8 1.0×10-9 5.2×10-10 6.0×10-11 94.0%
② カプトンチューブ熱電対 4.6×10-8 3.0×10-9 6.1×10-10 1.5×10-10 95.0%
③ ポリイミド被覆 素線 先端溶接 4.4×10-8 1.0×10-9 7.8×10-10 3.2×10-10 68.0%
④ ツイストケーブル熱電対 7.5×10-7 7.07×10-7 7.3×10-10 2.7×10-10 99.96%
⑤ カプトン被覆ケーブル 6.2×10-8 1.9×10-8 9.1×10-10 4.5×10-10 97.6%
⑥ PEEKインサート 8.7×10-6 8.6×10-6 2.3×10-9 1.8×10-9 99.98%
⑦ テフロン被覆熱電対 6.7×10-8 2.4×10-8 8.7×10-10 4.1×10-10 98.3%
⑧ PTFEインサート 2.3×10-6 2.2×10-6 1.9×10-9 1.4×10-9 99.94%

5. 考察・感想

本来であれば表面積の単位を揃えて出すべきですが、今回はそこまでの時間がなく行いませんでした。しかしながら、表面積の小さいケーブル被覆から表面積の大きいインサートまで、いずれのサンプルにおいてもベーキング後にはかなりのアウトガス低減が確認されました。 全8サンプルの試験対象アウトガス QS の低減率は 68%～99.98% に達しており、ベーキング処理の有効性が明確に示されています。

本調査からわかったこと

  • 1 ベーキングによってアウトガス量は大きく減少する。
    すべてのサンプルで少なくとも1桁以上のアウトガス低減が確認されました。特にツイストケーブル熱電対、PEEKインサート、PTFEインサートでは3桁以上の低減が見られました。
  • 2 材質に関係なくベーキング効果は高い。
    セラミック、カプトン、ポリイミド、PEEK、テフロン、PTFEと多様な材質を試験しましたが、いずれも顕著なアウトガス低減効果が得られました。

© 2026 アウトガス量調査レポート

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