About 10,000 types of vacuum components in stock at all times. About 10,000 type Always in stock that day shipping is17 pmAccepted untilBusiness Hours： 9:00-18:00, excluding weekends and holidays

Search History
Keyword Candidate Search History
Category
Subcategory
Subcategory
Category
Subcategory
Category
Product Category
  • Feedthrough Feedthrough
    Feedthrough
  • Isolator Isolator
    Isolator
  • Viewport Viewport
    Viewport
  • Vacuum Component Vacuum Component
    Vacuum Component
  • Vacuum Valve Vacuum Valve
    Vacuum Valve
  • Motion Feedthroughs Motion Feedthroughs
    Motion Feedthroughs
  • Others Others
    Others
Contact Us
Shipping accepted on the day on orders until 17:00
(Hours 9:00 to 18:00 except Saturdays, Sundays, and holidays)

To use this service, please login or register as a member.

Not a member yet?

Registering as a member gives you access to a number of useful features.

ぜひご登録ください！

※ Please note that it may take several days after applying for a member registration until the registration is complete. Please note that we reserve the right to refuse your application at our discretion.

  1. 真空部品通販ならコスモ・テック
  2. 事例
  3. 真空ベーキング作業手順
読み物
真空ベーキング作業手順

真空ベーキング作業手順

2025/09/24
Facebook
LINE
Twitter
真空ベーキング作業手順

真空ベーキング作業手順（チェックリスト）

真空ベーキングにおいて気をつける点をまとめました。ここに記載したものはあくまで一例です。実際にベーキングを行う際は、依頼先企業に詳細をご相談ください。

0. 計画と安全

  • 目標真空度/期限に合わせ、温度・時間・レートの上限を決める（例：金属主体でも樹脂があるなら樹脂に合わせる）
  • 例外確認：アルミ(6061-T6) ≦150℃、ビューポート（ガラス/石英）多くは≦200℃、ターボ/ゲート/ベローズは周辺≦100-120℃
  • 停電・異常時インターロック：自動ゲート閉、ポンプ保護、過昇温リミット、センサー断線保護を有効化
  • 作業区域の酸素欠乏・火災リスク対策、消火器・換気・警報器の確認

1. 前処理（洗浄・準備）

  • 洗浄：中性洗剤 → 超純水リンス → IPA拭き取り → 無塵乾燥。素手禁止
  • トラップボリューム対策：盲穴・袋穴にベント穴/ベント付きボルトを採用
  • シール材・配線・接着剤は低アウトガス品のみ（PVC不可、PTFE/Kapton推奨）
  • リークは先に修理。真空度が上がらない理由はリークかも？Heリークテストで事前確認

2. 組立と配置

  • 均一加熱を意識した配置：厚肉フランジ・窓の温度ムラを減らす。直接加熱を避ける
  • 熱膨張リーク対策：ろう付け部（Kovar-ガラス等）・CF面に急激/不均一な熱負荷を与えない。片締め・高温増し締めは原則しない

3. ヒーター巻き・断熱

ヒーターの詳細な注意点は各製品ページのタブをご確認ください。
  • 発熱体は重ね巻き・急曲げを避け、最小曲げ半径を遵守
  • 空焚き防止：巻き付けられず余った部分は断熱材で必ず覆う
  • 遮熱板・断熱ブランケットでポンプ・バルブ・ゲージを直射から保護

4. 計測系セット

  • 温度センサをワークに直付け（ヒーター温度≠実体温度）。厚肉部・窓・端部など複数点で測る
  • 圧力計はレンジに合うもの。電離真空計/RGAのフィラメントは高圧域で点灯しない（概ね ≦10⁻³mbar）

5. 排気系セットアップ

  • ドライ系＋ターボを基本（スクロール/ダイアフラム）。油系を使う場合は高性能トラップで逆流防止
  • 連続排気が可能な配管・冷却・電源を確保（ベーク中は常時排気）

6. 立ち上げ（昇温）

  • 真空引きしながら
    0.5-2℃/分
    で昇温（ガラス/石英はより穏やかに ≦0.5-1℃/分）
  • ポンプ・ゲート・ベローズ・ビューポートはカタログ上限温度を超えない（周辺100-120℃目安）
  • 温度ムラを抑えるため段階的に帯域ごと（チャンバー→配管→付帯）で追従加熱

7. 保温（ソーク）

  • 所定の材質別ターゲット温度×時間を保持（連続排気は継続）
  • Oリングや樹脂部は低温帯にとどめるか別ベークを検討
  • RGA/圧力は“温度上昇に伴うアウトガス放出による一時的な上昇→徐々に下がる”挙動を確認・記録

8. 降温（クールダウン）

  • 目標時間終了→ヒーターOFF。排気は継続したまま自然降温（1-2℃/分程度）
  • ガラス/セラミックは急冷厳禁。高温時の増し締めは基本禁止

9. ベント/パージ

  • 完全に室温になってから、乾燥窒素で静かにベント
  • 露点目安 ≦-40℃、2-3回置換で残留水を押し出す。パージラインは清浄・逆止弁付き

10. 事後確認

  • 圧力・RGAスペクトル・温度ログを保存。必要に応じHeリークテスト再実施
  • 変色・硬化・質量変化など、Oリング/樹脂の劣化サインを点検

迷ったときの実務目安（例外厳守）

ざっくり指針：
FKM:150℃
金属:250-400℃（装置の上限内）
それ以外の樹脂・配線・接着系:70℃
迷ったら：まず250℃ × 10hで”乾かす”運用がだいたい有効
ただし例外：アルミ(6061-T6) ≦150℃、ガラス/石英はメーカー上限（多くは≦200℃）、ターボ/ゲート/ベローズ周辺≦100-120℃。ここに一つでも抵触する場合は全体条件を下げる

よくある落とし穴

熱膨張差での微小リーク（フランジ・ろう付け部） → ゆっくり・均一加熱/直射禁止/高温時の締結作業は避ける。パイプが膨張で引っ張られてリークすることもある。特に温度を下げていく時に注意が必要。
空焚きヒーター → 余長は断熱材で覆う
高圧でのフィラメント点灯 → 電離計/RGAは十分引けてから
油逆流 → ドライ系基本。油系は確実なトラップ＋インターロック
“ベークすれば直る”誤解 → リークは前に直す

その他の注意点

ねじを締めたままベーキングするとかじることが多いため、その場合はモリブデンなど潤滑剤を必ず使用すること

この記事をシェアする

Facebook
LINE
Twitter

この記事をシェアする

Facebook
LINE
Twitter
Shipping accepted on the day on orders until 17:00 Hours 9:00 to 18:00 except Saturdays, Sundays, and holidays
Contact Us
Please fill in the form below.
After confirming the content of your enquiry,
a representative will contact you.