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  3. 失敗事例 #24 ロータリー真空ポンプ(油回転真空ポンプ)の逆流でチャンバー廃棄
失敗事例
失敗事例 #24 ロータリー真空ポンプ(油回転真空ポンプ)の逆流でチャンバー廃棄

失敗事例 #24 ロータリー真空ポンプ(油回転真空ポンプ)の逆流でチャンバー廃棄

失敗事例 #XX「ロータリー真空ポンプの逆流でチャンバー廃棄」

0. 教訓

真空系では、バルブの開閉手順を一度間違えるだけで、装置全体が致命的な損傷を受けることがある。

1. 事例内容

ある実験で、真空チャンバーをすでに真空状態にしたままロータリー真空ポンプを起動しようとした。作業者はバルブ操作の順番を誤り、チャンバー側へのバルブを開放した。その瞬間、ポンプ内のオイルが一気にチャンバー内へ逆流した。

オイルは内部の壁面や部品に広がり、真空特性を大きく損ない、洗浄や再生が困難な状態となった。最終的にチャンバーは廃棄となった。

失敗した人の声

「バルブを開けた瞬間、ビューポート越しに黒いオイルがスーッと流れ込んでいくのが見えました。『あ、やってしまった』と頭が真っ白になりました。」

「チャンバー内の精密部品が一瞬でオイルまみれになり、何十万円もする装置が使い物にならなくなってしまいました。上司に報告するときは本当に申し訳ない気持ちでいっぱいでした。」

「この経験以来、バルブ操作は必ず手順書を確認してから行うようになりました。一瞬の油断が高額な損失に直結することを身をもって学びました。」

2. 原因

  • バルブ開閉手順の誤り(安全確認なしの操作)
  • 逆流防止機構(逆止弁)が未設置
  • 作業前の操作手順・状態確認不足

3. 影響・被害

  • 真空チャンバーの廃棄による数十万円の損失
  • 実験スケジュールの大幅な遅延
  • 代替装置の手配と設置に要する時間とコスト

4. 防止策

  • 操作マニュアルを作成し、必ず手順通りに実施
  • バルブには開閉状態を明確に示す表示やロック機構を導入
  • ポンプとチャンバーの間に逆止弁を設置
  • 作業前の復唱確認(ダブルチェック)を習慣化
  • 真空系操作に関する定期的な安全教育の実施

5. 再発防止チェックリスト

  • ✅ 操作手順書確認:バルブ開閉の正しい順序を確認したか
  • ✅ 装置状態確認:ポンプとチャンバーの現在の状態を把握したか
  • ✅ 逆流防止策確認:逆止弁が正しく設置されているか
  • ✅ ダブルチェック実施:作業前に同僚との復唱確認を行ったか
  • ✅ 緊急時対応確認:逆流が発生した場合の対処法を把握しているか
  • ✅ バルブ表示確認:各バルブの開閉状態が明確に表示されているか

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