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- 事例
- 失敗事例#23 手の油が招いた光学部品の性能低下
失敗事例#23 手の油が招いた光学部品の性能低下
0. 教訓
油分は、紫外光や短波長光を吸収・散乱し、光学性能を大きく損なう原因となる。
1. 事例内容
ある実験装置では、短波長のレーザー（紫外領域）を用いて光学系の評価を行っていた。ミラーやレンズなどの光学部品は高精度な反射特性が求められるため、反射率や透過率の変化には特に注意が必要だった。
しかし、装置のメンテナンスでミラー交換作業を行った際、作業者が素手で光学部品を扱ってしまい、ごくわずかな皮脂（手の油）がミラー表面に付着した。
可視光での調整では油による影響は確認できなかったため、異常には気づかれなかったが、紫外領域の波長で測定を行ったところ、出力が大きく低下。原因を調査した結果、ミラー表面に付着した油膜が紫外光を吸収していたことが判明した。
失敗した人の声
2. 原因
- 素手で光学部品に触れたことによる皮脂の付着
- 短波長での測定に対する油の吸収特性への認識不足
3. 影響・被害
- 紫外領域でのレーザー出力の大幅な低下
- 実験データの信頼性低下
- 装置全体の分解清掃による作業時間の大幅な増加
- 実験スケジュールの遅延
4. 防止策
- 光学部品の取り扱いは必ず無塵手袋またはピンセットを使用する
- 光学面は定期的に紫外光を使って性能チェックし、吸収の兆候を早期発見する
5. 再発防止チェックリスト
- ✅ 光学部品取扱時の手袋着用：無塵手袋またはピンセットを必ず使用する
- ✅ 定期的な性能チェック：紫外光での光学性能を定期的に測定する
- ✅ 清掃手順の確認：光学部品専用の清掃方法と溶剤を使用する
- ✅ 作業環境の管理：光学部品周辺での油分使用を制限する
6. 補足
油分は可視光ではほとんど目立たないが、紫外光やEUVなど短波長になるほど吸収が顕著になるため、装置設計段階からの注意と管理が必要。特に真空環境での光学系では、蒸発した油が光学面に再付着する「アウトガス」にも注意が必要である。
また、人の手に由来する油だけでなく、オイル式の真空ポンプから拡散するオイルミストにも注意が必要。この対策として、ポンプの排気ラインにオイルトラップやフィルターを設置することが有効。
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