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VCR®継手にガスケットを装着せずに締結し、継手を使用不能にした例。
項目 | 内容 |
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発生場所 | 半導体製造装置・真空配管ライン |
使用部品 | Swagelok® VCR® ステンレス継手(3/8 in.) |
失敗内容 | ガスケット未装着のまま締結 |
主な結果 | 真空リーク/シート面の圧痕・変形 → 継手交換(作業停止 + 追加コスト発生) |
階層 | 具体的要因 |
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直接要因 | – ガスケット未装着のまま締付け(目視確認を省略) – 過トルクでの締付けによりシート面が塑性変形 |
間接要因 | – VCR® 継手は「1 回限りシール」であるという構造理解不足 – 部品管理の不備でガスケットが作業場と離れた場所に保管 – チェックリスト不備(ガスケット点検項目なし) |
根本要因 | – 作業者教育と OJT が手順中心で原理説明が不足 – 作業前の ピアレビュー(相互確認)文化不定着 |