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アウトガスとOリング

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アウトガス

アウトガスは、オフガスとも呼ばれ、他の物質に捕捉、凍結、溶解、吸収されていたガスが放出されることを指します。アウトガスは、クリーンな高真空環境を作るとき、あるいは維持するときによく起こる問題です。高真空環境と高温は、蒸気圧と化学反応の増加により、アウトガスの発生率を増加させます。

事前に適切な準備をすることで、真空システム内のアウトガスの量を大幅に減らすことができます。表面を適切に洗浄したり、個々の部品を加熱したり（「ベークアウト」と呼ばれる方法）することで、アウトガスの発生をほぼ完全になくすことができます。アウトガスを減少させる最善策の一つは、洗浄後、真空焼成されたOリングを使用することです。

真空焼成Oリング

洗浄済みOリングは、UC Components独自の洗浄工程を経て、射出成形の離型剤や成形後に生じる表面の微粒子汚染を低減、または除去されています。真空焼き付けOリングは、精密洗浄工程を経てから、長時間の真空焼き付け工程に入ります。RediVac®真空ベーキングプロセスは、残留炭化水素と水蒸気を最小限に抑え、アウトガスと残留表面汚染物質をさらに減らすことで、より高い清浄度が保証されます。真空ベーキングを行うことで、HV、UHV、EUV環境で動作する多くの主要な科学研究施設、ビームライン、真空チャンバーの要求仕様満たすことができます。
残留ガス分析（RGA）認証は、お客様の部品が最高の清浄度基準を満たすことを保証するために発行されるものです。

UC ComponentsのRediVac® Oリングは、高真空および超高真空装置で使用するために特別に加工されています。UC Component, Inc. RediVac® Vacuum Baking Processは、精密洗浄およびクリーンパッケージされたねじ、ワッシャー、ナット、OリングのRediVac®製品群に追加された最新のオプションです。当社のねじとOリングはすべて、クラス100/ISOクラス5の認証を受けたクリーンルームで洗浄・包装されています。

UCC製品はこちらよりご確認ください。

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