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- 焼成Oリングと非焼成Oリングの比較
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焼成Oリングと非焼成Oリングの比較
前回は、真空ベーキングプロセスと、それが高真空や超高真空のアプリケーションに重要である理由について説明しました。これらの用途に使用される部品やねじは、真空システム全体の汚染につながる揮発性物質を含まないことが要求されます。しかし、未処理のOリングが真空下でアウトガスを起こすことが試験で示されているにもかかわらず、真空システムで未処理のOリングを使用することはできるのでしょうか？
アウトガス（またはオフガス）とは、他の材料に捕捉、凍結、溶解、吸収されたガスが放出されることをいいます。アウトガスが多いと、クリーンな高真空環境を維持することができません。高真空・高温環境では、蒸気圧やポリマー中の化学反応の増加により、アウトガスの発生率が高くなります。適切な準備と適切な部品選定をすることで、真空システム内でのアウトガスの量を劇的に減らすことができます。
図1：Oリングのベークアウト残渣
現在、市場には様々なOリングがあり、メーカーや使用材料がどこで作られたのか、ロットによって大きく異なります。新品のOリングには、溶剤、水、水蒸気、揮発性硬化剤、未反応モノマーなど、微量な汚染物質が含まれている可能性があります。
新品で未処理のOリングは、ポリマーから水分の汚染物を除去するために、室温で長時間のポンピングが必要です。汚染物質はゆっくりと表面に拡散し、その後脱着するので、適切なコンディションを整えるのに数週間（あるいは数ヶ月）かかることがあります。Oリングを取り付ける前に、水蒸気をベーキング/ベークアウト処理をすることで、アウトガスの可能性を大幅に減らすことができます。
下表（図2）に示すように、焼成型Oリングと非焼成型Oリングを使用した場合、ポンプ使用時間によってアウトガス発生率が大幅に減少することがわかります。この表は一般的なアウトガス発生率の代表例ですが、実用的なアウトガス発生率はこの2曲線の中間に位置します。
図2：Oリングのガス負荷
真空用途で未処理のOリングを使用すると、アウトガスが発生することが証明されています。アウトガスを減らすための最も簡単で最善の方法の1つは、HV、UHV、EUV環境で特別に処方・処理されたOリングを使用することです。
RediVac® O-リングは、高真空装置や超高真空装置ですぐに使用できるように特別に加工されています。同社のねじとOリングはすべて、クラス100/ISOクラス5の認証を受けたクリーンルームで洗浄・包装されています。このプロセスは、真空サービス用にインストールする前にエラストマーシールを事前に洗浄するための典型的な要件に基づいています。真空ベーキングプロセスは、UC Components, Inc.が精密洗浄およびクリーンパッケージされたRediVac®ねじ、ワッシャー、ナット、Oリング製品に提供する仕上げオプションの1つに過ぎません。
アウトガスの概要
図1：Oリングのベークアウト残渣
バージン/未処理のOリング
新品で未処理のOリングは、ポリマーから水分の汚染物を除去するために、室温で長時間のポンピングが必要です。汚染物質はゆっくりと表面に拡散し、その後脱着するので、適切なコンディションを整えるのに数週間（あるいは数ヶ月）かかることがあります。Oリングを取り付ける前に、水蒸気をベーキング/ベークアウト処理をすることで、アウトガスの可能性を大幅に減らすことができます。
焼成と非焼成の比較
図2：Oリングのガス負荷
真空用途で未処理のOリングを使用すると、アウトガスが発生することが証明されています。アウトガスを減らすための最も簡単で最善の方法の1つは、HV、UHV、EUV環境で特別に処方・処理されたOリングを使用することです。
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