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アウトガス、ねじ、および真空システムについて

アウトガス、ねじ、および真空システムについて

2023/02/03
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アウトガスとは何か、そしてシステムにどのような影響を与えるのでしょうか？


アウトガスとは、オフガスとも呼ばれ、物質に捕捉、凍結、溶解、吸収されたガスが放出されることを指します。このようなガスを高真空システム内に放置すると、最終的に敏感な機器やその他の表面で凝縮し、システムが作動不能になる可能性があります。これは清潔な高真空環境を作る場合や、維持する際によく起こる問題です。

アウトガスの主な発生源は何ですか？


さまざまな材料が軽量の分子を放出し、真空プロセスに干渉することがあります。通常、吸収性がないと考えられている材料（金属やガラスなど）であっても同様です。また、蒸気圧や高温での化学反応の速度も、アウトガスの発生率を高める原因となります。

主なアウトガスの発生源は、
・プラスチック
・エラストマー
・接着剤
・多孔質セラミックス
・多孔質金属
・潤滑油
・熱伝導グリス
・指紋、毛髪、皮膚
・埃
・食品 など

一般的なアウトガスの問題は、次のようなものです。


・水蒸気
・オイル
・オイルの蒸気
・溶剤
・有機物

一般的な材料のアウトガス発生率


材料 レート* (10-9 mbar/sec-cm2) レート** (10-8 Torr・l/sec.)
ステンレススチール 13.5 –
クロームめっき鋼 7.1 –
電解研磨ステンレス鋼 4.3 –
アルミニウム 6.3 –
ニトリル 3,500 300
ケルF 40 4
シリコン 18,000 2,000
フッ素樹脂 1,140 2,000
焼成フッ素樹脂 4 0.2
パーフロロエラストマ – 0.3
ポリフッ化樹脂 300 400
ポリアミド 900 80
パイレックスガラス 7.4 –
*ライボルト・インフィコン社, “Vacuum,” 1997
**Peacock, R.N., J. Vac. Sci. Technol., Jan./Feb. 1980

ボルトやねじなどの一般的な締結部品は、ほぼすべての機械に必要不可欠なものです。そのため、特に腐食性要素、極端な温度、極端な圧力、または高いレベルの物理的な負荷にさらされる場合、部品の製造、および加工後の処理に使用される材料は、メーカーにとって重要事項です。

適切なねじを使用することで、真空システム内のアウトガスの量を劇的に軽減し、さらに表面を洗浄し、個々の部品を加熱する（「ベーキング」と呼ばれる方法）ことで、真空システム内のアウトガスを実質的に排除することができます。

UCコンポーネントのねじは、この問題をどのように解決するのですか？

UCコンポーネントのガス抜き穴付きボルトは、ブラインドタップ穴の底部、側面、肩部から、閉じ込められた空気をポンプで排出するための経路をつくります。これにより、真空システムの迅速かつ完全なポンプダウンが可能となり、これらの空隙に見られるバーチャルリークと潜在的な汚染物質を排除することができます。RediVac®ベントスクリューは、システムの処理能力を向上させ、生産量を改善します。

UCC製品はこちらよりご確認ください。

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