ベローズバルブって、真空の現場では一番よく見かけるタイプですね。ポンプとチャンバーの間など、配管のあちこちに使われています。

• 気密性が高くて、値段もそこまで高くないのがいいところ。
• 構造がシンプルだから壊れにくいです。
• さらにボンネット部分がメタルシールになってる、より高気密なタイプもあります。

ボールバルブは、どちらかというと低真空の領域でよく使われます。工場の配管ラインなどによくありますね。

• 丈夫で、ちょっとゴミを噛んでもちゃんと止められるのが魅力。
• ただし、構造上ちょっと大きくなりがちなのが難点です。

ゲートバルブは、「大きく開ける」「しっかり閉じる」っていうのが得意なバルブです。

• チャンバーの出入口とか、搬送のハッチ部分によく使われます。
• ポンプの上流で開閉制御に使うこともあります。

これはターボ分子ポンプの直上とかに使われることが多いバルブです。排気量を調整するために設置されます。

• 中心に棒が通っているため、完全に開ききるわけではないのですが・・・
• そのぶん構造は頑丈で、コスパもいいです。

バタフライバルブと似たような用途で使われますが、ちょっとお高めなバルブです。

• 棒がないため、完全に開くことができるのがメリット。
• そのぶん制御が難しくて、値段も高めです。
• ゲートバルブの代わりに、ロードロックのハッチに使われることもあります。

真空を引いたあとにガスを入れたいときに使うのがこのバルブです。

• ガス導入用の一般的なバルブですね。
• 微調整はちょっと苦手なので、細かい制御が必要なときは次のバルブがおすすめです。

こちらは名前のとおり、少しずつガスを入れたいときに使います。

• 本当に微量なガスの導入が可能です。
• 表面分析とか、繊細なプロセス制御でよく使われます。

少しわかりにくいかもしれませんが、チャンバー内に大気を入れたいときに使うことが多いバルブです。

• 開けると一気に大気が入るタイプや、ちょっとずつ開けるタイプもあります。
• ガスを導入する目的で使う場合もあって、「インレットバルブ」と混同されがちです。
• 「リークポート」と呼ばれることもあります。

アイソレイトバルブは、真空系統を完全に分離したいときに使うバルブです。

• メンテナンスや修理のとき、一部の配管だけを分離できます。
• 高真空系統で特に重要な役割を果たします。
• 完全密封が求められる箇所によく使われます。

ソレノイドバルブは、電気信号で自動的に開閉できるバルブです。真空装置の自動化には欠かせません。

• PLCや制御システムからの信号で瞬時に開閉できます。
• 安全装置として、異常時に自動的にバルブを閉じることができます。
• プロセス制御での自動ガス導入や排気制御に使われます。
• 電源が切れたときに「開」になるタイプと「閉」になるタイプがあります。